Morphology and Raman Spectra Peculiarities of Chemical Vapor Deposition Diamond Filmsстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.

Работа с статьей


[1] Morphology and raman spectra peculiarities of chemical vapor deposition diamond films / A. A. Zolotukhin, R. R. Ismagilov, M. A. Dolganov, A. N. Obraztsov // Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics. — 2012. — Vol. 7. — P. 22–28. The textured polycrystalline diamond films were obtained by a chemical vapor deposition (CVD) from CH4/H2 gas mixture activated by a direct current (DC) discharge. The effect of CH4 concentration on the morphology and the structural properties of the diamond films was investigated. The transition from a faceted to a ballas-like diamond and an increase of the amount of graphitic inclusions were observed with the increase of CH4 concentration. A scanning electron microscopy (SEM) and a Raman spectroscopy were used to reveal the different stages of the morphology and the composition transformation of the diamond films with the deposition parameters variation. A selective thermal oxidation technique was used to investigate the internal structure of CVD films. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть