Thickness and temperature depending intermixing of SiOx/SiO2 and SiOxNy/SiO2 superlattices: Experimental observation and thermodynamic modelingстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science, Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 ноября 2017 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст 2016_APL.pdf 1,3 МБ 2 июня 2016 [zhigunov]