Local monitoring of diamond nucleation densityстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 мая 2015 г.

Работа с статьей


[1] Obraztsov A. N., Timoshenko V. Y. Local monitoring of diamond nucleation density // Journal of the Electrochemical Society. — 1996. — Vol. 143, no. 3. — P. 1061–1063. A laser-based method for local monitoring of diamond nucleation centers densities is presented. The method uses a pulse ruby laser to suppress the native nucleation centers on silicon wafers due to local surface melting and/or to create the dense diamond nucleation by implantation of highly dispersive diamond particles. Nucleation densities of 10(12) cm(-2) were reached with this method on definite substrate regions by using nontransparent masks. The effective prevention of a diamond growth with the chemical vapor deposition process was obtained on the substrate surface treated by the laser. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть