|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
ТЕРМОДЕСОРБЦИЯ ГЕЛИЯ ИЗ СКРЫТЫХ ПОР В КРЕМНИИ, СФОРМИРОВАННЫХ С ПОМОЩЬЮ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Патракеев A.С., van_Veen A., Schut H., Чеченин H.Г.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 5
- Год издания: 2006
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 48
- Последняя страница: 50
- Аннотация: Исследуется формирование скрытых полостей в кремнии при имплантации ионов Не+ и поглощение газа порами при высоких температурах и давлениях. Показано, что поглощение происходит в порах, а не в матрице образцов. На основе процессов поглощения и термодесорбции предлагается метод определения абсолютного объема скрытых полостей в материалах.
- Добавил в систему: Чеченин Николай Гаврилович