|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Дифракция Фраунгофера на многоугольнике и расчет изображений бинарных масокстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
- Авторы: Белокопытов Г.В., Рыжикова Ю.В.
- Журнал: Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
- Номер: 2
- Год издания: 2009
- Издательство: Изд-во Моск. ун-та
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 41
- Последняя страница: 43
- Аннотация: Получена простая аналитическая формула для спектра пространственных гармоник дифрагированного поля. Показано, каким образом с ее помощью можно построить эффективный алгоритм расчета изображения в фотолитографии.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Ryzhikova_text.pdf | 245,1 КБ | 14 июня 2015 [Ryzhikova] |