Carbon masks for patterning of YBa2Cu3Ox submicron Josephson junctionsстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
Местоположение издательства:Piscataway, NJ, United States
Первая страница:292
Последняя страница:295
Аннотация:We have developed a fabrication process for submicron wide YBa2Cu3Ox (YBCO) Josephson junctions on bicrystal substrates. The masks patterned in carbon films grown by laser ablation were used for ion beam etching of YBCO films. The carbon deposition parameters providing conservation of critical temperature of YBCO films covered by carbon layers l,m wide YBCO bridges have have been found. The test 1.5 to 3 mum wide YBCO bridges have been fabricated on single crystal SrTiO3 substrates using the developed technology.