Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 22 ноября 2015 г.
Аннотация:Abstract—Modern maskless photolithography systems based on using spatial light modulators are analyzed
in this review. Principles of construction, examples ofimplementation of systems, as well as factors limiting their spatial resolution are discussed.