УГЛЕРОДНЫЕ НАНОМАТЕРИАЛЫ ДЛЯ УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИНИР

Источник финансирования НИР

ФЦП: Федеральная целевая программа, Научные и научно-педагогические кадры инновационной России

Этапы НИР

# Сроки Название
1 6 августа 2012 г.-15 ноября 2012 г. Получение углеродных наноматериалов и определение их структурных и физических характеристик
Результаты этапа: Проведенные патентные исследования показали, что разрабатываемые в данном проекте наноуглеродные материалы и методы их получения обладают мировой новизной. Разработанный масштабируемый метод получения наноуглеродных пленок большой площади позволяет получать материалы высокого качества, обладающие уникальными характеристиками. По сравнению с автоэмиссионными характеристиками углеродных нанотрубок, приводимыми в литературе, одним из достоинств нанографитных катодов, получаемых данным методом, является их большая стабильность, обусловленная тем, что составляющие их графитные пластинчатые структуры обладают меньшим эффективным сопротивлением и большей механической жесткостью. Получаемые в работе пленки графита толщиной в несколько атомных слоев имеют высокую степень кристаллографического совершенства и могут быть использованы для изготовления графена и электронных устройств на его основе.
2 15 ноября 2012 г.-15 ноября 2013 г. Разработка методов создания устройств микроэлектроники на основе углеродных наноматериалов
Результаты этапа: Были получены экспериментальные образцы наноуглеродных пленок, включая нанографитные пленки, пленки графена, наноалмазные пленки, микрокристаллические алмазные пленки. Были определены их структурные и физические характеристики. Разработаны и созданы прототипы устройств на основе полученных материалов. Технологические характеристики полученных образцов соответствуют требованиям Соглашения. В частности, были получены следующие основные характеристики автоэмиссионных катодов на основе нанографитных пленок: максимальная плотность тока 0.1-1 А/см2, пороговое поле 1-3 В/мкм, плотность эмиссионных центров 105 – 106 см-2. Обнаружено и исследовано новое явление возникновения электромеханических автоколебаний в процессе низкополевой электронной эмиссии в системе с автоэмииттером обладающим упругими свойствами. Показана возможность создания новых типов электромеханических устройств на основе данного явления. Исследованные тонкие графитные плёнки обладают высокой степенью кристаллографического совершенства и могут быть использованы для создания новых типов устройств микроэлектроники, включая прозрачные электроды, полевые транзисторы и оптоэлектронные преобразователи.

Статьи по НИР