Автоэлектронная эмиссия из углеродных пленок, полученных в СВЧ ЭЦР плазме на кремниевых подложкахНИР

Источник финансирования НИР

грант РФФИ

Этапы НИР

# Сроки Название
1 4 октября 2013 г.-15 февраля 2014 г. Автоэлектронная эмиссия из углеродных пленок, полученных в СВЧ ЭЦР плазме на кремниевых подложках
Результаты этапа: Проведено комплексное исследование структурных характеристик и автоэмиссионных свойств углеродных пленок.