Автоэлектронная эмиссия из углеродных пленок, полученных в СВЧ ЭЦР плазме на кремниевых подложках. НИР

Источник финансирования НИР

грант РФФИ

Этапы НИР

# Сроки Название
1 1 января 2014 г.-31 декабря 2014 г. Автоэлектронная эмиссия из углеродных пленок, полученных в СВЧ ЭЦР плазме на кремниевых подложках.
Результаты этапа: