|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка процессов изготовления дифракционных субволновых оптических элементов методом электронно-лучевой литографии и исследование их параметровНИР
- Руководитель НИР: Васильев А.Н.
- Участники НИР: Попов В.В.
- Подразделение: Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
- Срок исполнения: 1 апреля 2014 г. - 31 марта 2017 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 5-14
- Номер ЦИТИС: 114122970007
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Взаимодействие излучения с веществом
- ПН России: Информационно-телекоммуникационные системы
- Направление технологического прорыва России: Энергоэффективность и энергосбережение
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.31.29 Формирование оптического изображения. Оптические приборы и оптические методы измерений
- 29.31.33 Физические основы голографии
-
Ключевые слова:
электронно-лучевая литография, дифракционные микроструктуры, оптика, резист
-
Описание:
Целью работы является исследование параметров дифракционных субволновых (для диапазона длин волн от 0.5 мкм до 10 мкм) оптических элементов и разработка процессов их изготовления методом электронно-лучевой литографии. В процессе работы должны быть отработаны процессы нанесения, экспонирования и обработки электронорезиста для получения дифракционных микроструктур с глубиной рельефа не менее половины длины волны выбранного диапазона. А также исследованы геометрические параметры и оптические свойства полученных микроструктур.
- Добавил в систему: Васильев Андрей Николаевич
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Хоздоговор |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 1 апреля 2014 г.-31 марта 2015 г. | Отработка технологии нанесения, экспонирования и обработки резистов ЭРП-40 толщиной до 2 мкм и SU-8 толщиной до 5 мкм |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 апреля 2015 г.-31 марта 2016 г. | Изготовление субволновых дифракционных элементов с характерной высотой рельефа до 5 мкм для элементов отражающего типа ИК-диапазона 10.6 мкм. Исследование параметров изготовленных дифракционных элементов |
| Результаты этапа: | ||
| 3 | 1 апреля 2016 г.-31 марта 2017 г. | Изготовление субволновых дифракционных элементов с характерной высотой рельефа до 2 мкм для элементов пропускающего типа ближнего ИК-диапазона и дифракционных элементов с характерной высотой рельефа до 0.4 мкм для элементов пропускающего типа видимого диапазона.. Исследование параметров изготовленных дифракционных элементов |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".