|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Исследование структурных свойств гомо- и гетероэпитаксиальных структур на основе кубического нитрида бора и кремнияНИР
- Руководитель НИР: Жигунов Д.М.
- Участники НИР: Павликов А.В.
- Подразделение: Кафедра общей физики и молекулярной электроники
- Срок исполнения: 1 июня 2015 г. - 30 сентября 2015 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 55/15
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Физика конденсированных сред
- ПН России: Энергоэффективность, энергосбережение, ядерная энергетика
- Направление технологического прорыва России: Энергоэффективность и энергосбережение
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.19.04 Структура твердых тел
-
Ключевые слова:
кремний, эпитаксиальные слои, кубический нитрид бора
-
Описание:
Проведение исследований для установления взаимосвязи между параметрами эпитаксиальных слоёв, в частности, однородностью, толщиной и технологическими режимами их получения методами Фурье-спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии.
- Добавил в систему: Жигунов Денис Михайлович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, ОАО "ОПТРОН" |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 1 июня 2015 г.-30 сентября 2015 г. | Определение взаимосвязи между технологическими режимами получения эпитаксиальных слоёв и их структурными параметрами |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".