ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Устройство для изготовления периодических микроструктур методом лазерной интерференционной литографии, отличающееся тем, что в качестве источника света используется лазер с перестраиваемой длиной волны, что позволяет изменять период изготавливаемой структуры без дополнительной юстировки, а также тем, что можно не использовать линзу для фокусировки светового излучения, что позволяет использовать большие рабочие мощности и уменьшить время изготовления микроструктур. Данное устройство позволяет в прикладном плане получить возможность создания элементов устройств кремниевой электроники и фотоники, применимых для пространственного и частотного управления светом.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Иллюстрация | 2629542LIL.pdf | 1,9 МБ | 12 сентября 2017 [paggy] |