Вернуться к списку оборудования

Спектроскопический эллипсометр-профилометр (1 шт.) (ПНР-5)

Входит в состав Спектроскопическое оборудование
Краткое название: ПР303_UVIRSElP
Тип: Спектрометры и другие аналитико-измерительные приборы и приборы для структурного анализа
Подразделение: Кафедра квантовой электроники
Начало эксплуатации: 11 ноября 2011
Идентификатор: 10359926
Технические характеристики: 1. Спектральный диапазон: 190-2100 нм. 2. Диапазон измеряемых толщин пленок от 0,1 нм до 100 микрон. 3. система детектирования с фазовой модуляцией и частотой модуляции 50 кГц. 4. Измерение не менее 12 элементов матрицы Мюллера. 5. Измерение деполяризации. 6. Система визуализации образца с возможностью получения цветного изображения образцов в режиме реального времени и расположением камеры в детектирующей головке для оптимизации положения микропятна на образце. 7. Видимое поле системы визуализации образца 4 мм х 3 мм при 70 градусов. 8. Цветная ПСЗ матрица системы визуализации образца размером 752 х 576 пикселей. 9. Двойной монохроматор для УФ и видимого диапазона со спектральным диапазоном 190-1000 нм. 10. Спектральное разрешение 0,3 нм при ширине щели двойного монохроматора для УФ и видимого диапазона 100 микрон, с точностью установки длины волн двойного монохроматора для УФ и видимого диапазона +-0,15 нм, с моторизированными щелями и наличием двух ФЭУ, сопряженых с двойным монохроматором для УФ и видимого диапазона. 11. Монохроматор ближнего ИК-диапазона со спектральным диапазоном 1000-2100 нм, спектральным разрешением 0,8 нм при ширине щели монохроматора ближнего ИК-диапазона 100 микрон, точностью установки длины волны монохроматора ближнего ИК-диапазона +-0,2 нм, моторизованными щелями и InGaAs детектором. 12. Автоматизированный гониометр, управляемый компьютером с диапазоном углов падения 35-90 градусов, точностью установки угла 0,1 градус и наличием автоматической калибровки гониометра. 13. Автоматизированный трехкоординатный столик управляемый компьютером с размерами 200 мм х 200 мм, наличием на автоматизированном столике двух сравнительных образцов для автокалибровки, наличием автоматической регулировки высоты столика с автофокусом с длиной автоматической регулировки высоты столика с автофокусом не менее 40 мм, с наличием вакуумного прижима образца, с наличием автоматического картирования образцов, с наличием моторизованного наклона столика для образца. 14. Автоматическая система выбора микропятна, управляемая компьютером с наличием ахроматических микропятен на зеркалах, числом возможных размеров микропятен 8 и наименьшим размером микропятна 50 микрон х 50 микрон. 15. Внешний блок питания. 16. Программное обеспечение для диагностики, калибровки, накопления данных и моделирования с двумя USB-ключами. 17. Электропитание 220 В, 50 Гц. 18. Потребляемая мощность не более 700 Вт.
Расписание:

Вторник-пятница с 11:00 до 14:00 и с 15:00 до 19:00.
Адрес:

119991, Москва, Ленинские Горы, д.1 стр. 35, комната 221.
Список ответственных за данное оборудование: Список зарегистрированных ответственных за оборудование комплекса: