| Технические характеристики: |
Технические характеристики:
1. Толщина покрытия в виде алмазной пленки: от 200 нм до 50 мкм и более.
2. Скорость осаждения: в диапазоне не менее, чем от 0.3 до 1 мкм/час.
3. Однородность покрытия: не менее 10% внутри выделенной области.
4. Площадь алмазного пленочного покрытия: не менее 200 кв.см.
5. Потребляемая мощность: не более 35 кВт.
6. Продолжительность работы между сервисным обслуживанием: не менее 500 часов.
7. Время простоя для проведения сервисного обслуживания и чистки: не более 2%.
8. Время выхода на рабочий режим: не более 1 часа.
9. Рабочие газы: водород, метан, азот.
10. Автоматическая система контроля процесса осаждения: наличие. Количество программируемех пошаговых операций не менее 59.
11. Ручной режим контроля процесса осаждения: наличие.
12. Возможность задания параметров в отдельности для каждого цикла осаждения: наличие.
13. Система отображения параметров системы в реальном времени: наличие.
14. Система регистрации сбоев: наличие.
15. Наличие возможности удаленного доступа и удаленного администрирования: наличие.
16. Возможность получения изотропных бордопированных алмазных пленок: наличие.
17. Возможность нанесения алмазных покрытый на 3-х мерные подложки: наличие.
18. Напряжение питания: 3-х фазная сеть 380 В, 50 Гц.
19. Охлаждение: Проточная водопроводная вода.
20. Источник рабочих газов: Баллоны со сжатым газом.
Состав закупаемого оборудования:
1. Вакуумная камера для проведения процесса осаждения: базовый уровень вакуума не более 10-3 Торр. Оборудование имеет загрузочный люк, и окно для наблюдения за процессом осаждения.
2. Система крепления подложек в вакуумной камере ,обеспечивающая поддержание заданного уровня температуры: уровень температуры подложек задается с точностью не ниже +-20С в диапазоне не уже от 600 до 1100С.
3. Источник питания, обеспечивающий необходимый уровень активации газовой смеси: наличие.
4. Система подготовки и подачи в камеру газовой смеси: количество газовый компонент - не менее 4-х. Контроль за подачей газов - с помощью автоматической системы на уснове регуляторов расхода газа.
5. Система откачки камеры и контроля давления газовой смеси в камере: должна обеспечивать автоматическую откачку и удерживание давления на заданном уровне с точностью не ниже +-5%.
6. Система контроллеров, обеспечивающих автоматическое и ручное управление всеми элементами установки и процессом осаждения: наличие.
7. Система охлаждения элементов установки и подложки: наличие.
|
| Расписание: |
Понедельник-пятница с С 10:00 до 12:00 и с 13:00 до 17:00.
|
| Адрес: |
119991, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, д.1, стр.2, МГУ, Физический факультет МГУ, комн. Ц-29.
|
|
