ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Диссертация посвящена теоретическому изучению самоорганизации плазмы высокочастотных емкостных разрядов, а также исследованию сечений рассеяния электронов на молекулах фторуглеводородов и реакций нейтральной химии в смесях Ar/CF4, Ar/CHF3. Для данного исследования автором был разработан и использован ряд численных моделей движения заряженных частиц в плазме. Исследование процессов в плазме одночастотных и двухчастотных емкостных разрядов производилось с помощью самосогласованной модели на основе метода «Частиц в Ячейке» с Монте-Карло столкновениями.