ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Работа посвящена построению самосогласованных теоретических моделей газового разряда в ограниченном объеме и в свободном пространстве в широком диапазоне давлений газа от 0.01 Тор до атмосферного, учитывающих как особенности его кинетики, так и электродинамики. Построена модель положительного столба разряда, охватывающая традиционные области теорий Шоттки и Ленгмюра-Тонкса, а также справедливая в случае, когда длина свободного пробега ионов порядка размеров системы, что типично для многих технологических установок. Построена теория распространения поверхностных волн вдоль границы плазмы с металлом в условиях формирования на границе слоя пространственного заряда, что важно для формирования однородного потока ионов, бомбардирующего подложку и управления его энергией. Обнаружен экспериментально и описан теоретически эффект резонансного возбуждения поверхностных волн, распространяющихся вдоль границ положительного столба ВЧ и СВЧ разрядов за счет ионизационно-полевой неустойчивости, позволяющий эффективно вкладывать энергию в разряд. Построены модели распространения диффузионного фронта ионизации в СВЧ разряде с плотностью электронов как больше, так и меньше критической. Предложен механизм, объясняющий формирование нитевидных структур в СВЧ разряде высокого давления, связанный с электростатическим усилением электрического поля. Результаты работы могут представлять интерес при разработке техно-логических источников плазмы и использовании разряда для управления течениями газа. 398 стр. 134 илл. Цитируемая литература 439 наименований.