ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
В данной работе для химического нанесения эпитаксиальных пленок фторидов ЩЗЭ и CeO2 на металлические ленты в «мягких» условиях использовался оригинальный методологический прием - снижение температуры превращения металл-органического прекурсора (МОП) в тонкопленочный материал путем его разложения в условиях пирогидролиза. В качестве МОП рассматривали разнолигандные комплексы, пригодные для использования в качестве прекурсоров для нанесения оксидных или фторидных пленок ЩЗЭ и РЗЭ из растворов или газовой фазы. Реализацию пирогидролиза МОП осуществляли различными способами в зависимости от метода осаждения.