|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
In-situ PECVD diagnostic by optical emission spectroscopy characterization of gas discharge plasmaдоклад на конференции
- Авторы: Исмагилов Р.Р., Образцов А.Н., Швец П.В., Zolotukhin A.A.
- Международная Конференция : Second International workshop “Nanocarbon photonics and optoelectronics”
- Даты проведения конференции: 2010
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Koli, Finland, Finland
- Добавил в систему: Исмагилов Ринат Рамилович