ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Проведено численное моделирование формирования фотолитографического изображения субмикронных структур, составленных из металлических расщепленных колец и П-образных элементов. Приводятся оценки минимальных размеров изображения зазоров между элементами при изменении параметров оптической системы с учетом частичной когерентности источника освещения. Проводится анализ устойчивости полученных геометрических характеристик на этапе экспонирования.