arXiv preprint arXiv:1310.4057сборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2013 Comparison of H2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
  • Dolgov A., Lopaev D., Rachimova T., Kovalev A., Vasilyeva A., Lee C.J., Krivtsun V., Yakushev O., Bijkerk F.
  • в сборнике arXiv preprint arXiv:1310.4057